DSHEng 装置通信エンジン(SECS, HSMS)

新製品 DSHCEngセル通信ｴﾝｼﾞﾝとの通信ﾃﾞﾓ用ﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑをﾀﾞｳﾝﾛｰﾄﾞできます。

＜DSHEng3 デモ版ダウンロード＞.
2010.3.9

［デモプログラムの言語］
Visual C++ 6.0
Visual Basic 6.0
Visual C#
Visual Basic 7.0(.net)

DSHCEngｾﾙ(上位系)通信ｴﾝｼﾞﾝﾃﾞﾓﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑとの対抗での評価ﾃｽﾄができます。

ﾃﾞﾓﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑのｾｯﾄｱｯﾌﾟと操作についてはdocﾌｫﾙﾀﾞｰのﾄﾞｷｭｰﾒﾝﾄを参照してください。
ﾃﾞﾓﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑにはﾕｰｻﾞが作成する基本的に必要な処理（通信ﾒｯｾｰｼﾞの処理など）が含まれています。

ばアラーム検出からアラームの通知までの処理の流れは下図のようになります。

例えば収集イベント情報とホストへの通知関連は次のようになります。

下図はDSHENGのサポート機能図です。
　　　　（注）いくつかの機能はカスタマイズの必要があります。

サポートするSECS-Ⅱメッセージ一覧表
　のページを表示します。

　装置通信エンジン（以下、DSHENG）は、半導体製造工場で採用されているSEMIスタンダードとSECS,HSMS通信規約に基づき、製造装置側の通信ならびに関連する情報の管理全般に対してサービスを提供し、ＧＥＭをはじめ、３００ｍｍウェハー対応に必要な機能を有するソフトウェアパッケージです。