| ダウンロード 対象 | ダウンロード | ｺﾒﾝﾄ |
| DSHコンバーター評価版 ｿﾌﾄｳｪｱ Install用 2020/2/18更新 |
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test用ﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑが含まれています。 ホスト(HSMS)、装置(SECS)両サイド用 |
| V-3.0版 製品版 更新プログラムﾌｧｲﾙ 2020/2/18 |
ﾀﾞｳﾝﾛｰﾄﾞDshConverter-V-3.zip へのリンク | ZIPﾌｧｲﾙです。 既存のﾌｧｲﾙを置き換えてください |
| DSHコンバーターV-3.0 ﾕｰｻﾞｰ･ﾏﾆｭｱﾙ 2020/2/18更新 |
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DSHコンバーターの 機能、操作説明書です。 PDF形式 |
| DSHコンバーター ﾃｽﾄ環境とテスト方法説明書 2017/8/25更新 |
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DSHｺﾝﾊﾞｰﾀｰV2の 機能ﾃｽﾄ操作ﾏﾆｭｱﾙです。 |
| DSHSIMーV3.0 シミュレータ評価版 |
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SECS/HSMS通信ｼﾐｭﾚｰﾀです。 |
| 番号 | 資料名 |
| 1 | SEMI-E4 半導体製造装置通信スタンダード１ メッセージトランスファー(SECS-Ⅰ) |
| 2 | SEMI-E5 1296半導体製造装置通信スタンダード１ メッセージ内容(SECS-II) |
| 3 | SEMI-E37.1-96高速SECSメッセージサービス シングルセッションモード(HSMS-SS) |
| 番号 | 項目 | 内容 |
| 1 | コンピュータ(本体) |
Windows-7, 8.1 ,10 Professionalが動作するPC |
| 2 | OS |
Windows-7, 8.1, 10 Professional 32, 64ビット版 |
| 3 | CPUクロック |
1 GB HZ以上 |
| 4 | 主メモリ容量 |
1 GBバイト以上 推奨 |
| 5 | ハードディスク | 100 Gバイト以上 |
| 6 | SECS-I用通信ポート | シリアルポートx 1 （複数ある場合は先頭ポートを使用する） |
| 7 | HSMS-SS用通信ポート | Ｅｔｈｅｒネット x 1 |
| 8 | USB2.0ポート | １ポート以上（コンバーターが１ポートを使用する） |
